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THK滚珠丝杠在电位移平台中起着带动作用，对电位移平台的定位精度、重复定位精度、轴向间隙、速度、分辨率等指标起着决定性作用。
常用的有滚珠丝杠、磨削丝杠和梯形丝杠。滚珠丝杠和螺母通过钢珠实现动态传动，通过选择钢珠的直径或采用双螺母预紧，可以减少轴向间隙，提高刚性，所以在传动精度、传动效率、刚性、寿命等方面都有很大的优势。
磨削丝杠与梯形丝杠和螺母之间的滑动传动，因此，传动效率低，速度慢，轴向间隙不易消除。磨丝杆采用小导轨，提高了系统的分辨率，制造成本低。梯形丝杆驱动力矩，可实现自锁。
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